EVG鍵合機(jī)EVG510（晶圓鍵合機(jī)）是用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的晶圓鍵合系統(tǒng)-與大批量生產(chǎn)設(shè)備*兼容。

一、簡介

      EVG鍵合機(jī)EVG510是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)，可以處理從碎片到200 mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝，例如陽極，玻璃粉，焊料，共晶，瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設(shè)計允許對不同的晶圓尺寸和工藝進(jìn)行快速便捷的重新工具化，轉(zhuǎn)換時間不到5分鐘。這種多功能性非常適合大學(xué)，研發(fā)機(jī)構(gòu)或小批量生產(chǎn)應(yīng)用。EVG大批量制造工具（例如EVG GEMINI）上的鍵合室設(shè)計相同，鍵合程序易于轉(zhuǎn)移，可輕松擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模。

二、EVG鍵合機(jī)EVG510特征

• *的壓力和溫度均勻性

• 兼容EVG機(jī)械和光學(xué)對準(zhǔn)器

• 靈活的設(shè)計和配置，用于研究和試生產(chǎn)

• 將單芯片形成晶圓

• 各種工藝（共晶，焊料，TLP，直接鍵合）

• 可選的渦輪泵（<1E-5 mbar）

• 可升級用于陽極鍵合

• 開室設(shè)計，易于轉(zhuǎn)換和維護(hù)

• 生產(chǎn)兼容

• 高通量，具有快速加熱和泵送規(guī)格

• 通過自動楔形補償實現(xiàn)高產(chǎn)量

• 開室設(shè)計，可快速轉(zhuǎn)換和維護(hù)

• 200 mm鍵合系統(tǒng)的小占地面積：0.8 m 2

• 程序與EVG的大批量生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)*兼容

三、EVG鍵合機(jī)EVG510技術(shù)數(shù)據(jù)

• 大接觸力：10、20、60 kN

• 加熱器尺寸：150毫米、200毫米

• 小基板尺寸：單芯片、100毫米

• 真空環(huán)境：標(biāo)準(zhǔn)：0.1毫巴（可選：1E-5 mbar）